項目地理位置

廈門市海滄區(qū)南海二路海滄半導體產(chǎn)業(yè)基地2#廠房1-4層及4#廠房2、3層

建設單位聯(lián)系人

林潮良

項目名稱

廈門四合微電子PLP生產(chǎn)線項目

項目簡介

項目性質(zhì)：新建；

項目總投資：35000萬元；

建設規(guī)模：年產(chǎn)DFN1006：12000KK顆、DFN0603：12000KK顆、DFN5×6：120KK顆、STRIP：2.93KK條。

項目主要設計內(nèi)容

一、防塵、防毒設施設計

（1）2#廠房1F鉆機設置側(cè)吸罩（罩口控制風速≥1.0m/s，風機風量：7000m³/h）。

（2）2#廠房2F銑床設置側(cè)吸罩（罩口控制風速≥1.0m/s，風機風量：7000m³/h）。

（3）2#廠房2F棕化線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：7000m³/h）。

（4）2#廠房3F晶圓切割機設置側(cè)吸罩（罩口控制風速≥1.0m/s，風機風量：7000m³/h）。

（5）4#廠房2F激光鉆孔采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：25000m³/h）。

（6）4#廠房2F微蝕減銅線、水平除膠沉銅線、鍍錫線、鍍銅線、圖形化學前處理線、快速蝕刻線、水平DES線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：27600m³/h）。

（7）4#廠房2F去膜線/隧道烘箱采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：32000m³/h）。

（8）4#廠房3F沉錫線、超粗化線、噴砂線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：20000m³/h）。

（9）4#廠房3F絲印機、滾涂線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：35000m³/h）。

（10）4#廠房3F去膜線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：32000m³/h）。

（11）4#廠房3F鎳鈀金線采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：31000m³/h）。

（12）4#廠房3F數(shù)控銑床采用自動化、機械化、密閉化設備，并設置密閉罩（罩口控制風速≥0.4m/s，風機風量：25000m³/h）

（13）原輔料分類存放，均用密閉的容器儲存，化學品容器用墊板墊高，防止與地面接觸�；瘜W品倉庫采用環(huán)氧地坪漆，設置圍堰或放置托盤，預防化學品發(fā)生泄漏。

（14）易燃液體、遇濕易燃物品、易燃固體不與氧化劑混合貯存，具有還原性的氧化劑單獨存放。

（15）有毒物品應貯存在陰涼、通風、干燥的場所，不露天存放，不接近酸類物質(zhì)。

（16）化學危險品入庫時，嚴格檢驗物品質(zhì)量、數(shù)量、包裝情況、有無泄漏。

（17）化學危險品入庫后采取適當?shù)酿B(yǎng)護措施，在貯存期內(nèi)，定期檢查，發(fā)現(xiàn)其品質(zhì)變化、包裝破損、滲漏等，及時處理。

（18）庫房溫度、濕度嚴格控制、經(jīng)常檢查，發(fā)現(xiàn)變化及時調(diào)整。

（19）建設單位生產(chǎn)過程產(chǎn)生的固廢分類存放、密封袋盛裝。

（20）排風罩應能將有害物源放散的有害物予以捕集，在使工作場所有害物濃度達到相應衛(wèi)生標準要求的前提下，提高捕集效率，以較小的能耗捕集有害物。

（21）當不能將有害物源全部密閉時可設置外部罩，外部罩的罩口應盡可能接近有害物源。

（22）排風罩的罩口外氣流組織宜有利于有害氣流直接進入罩內(nèi)，且排氣線路不應通過作業(yè)人員的呼吸帶。

（23）排風罩應避免布置在存在干擾氣流之處。排風罩的設置應方便作業(yè)人員操作和設備維修。

（24）液氮為密閉管道輸送。

（25）建設項目化學品在使用前均為密封包裝狀態(tài)，分別轉(zhuǎn)運至藥品自動供給室，在安裝桶/槽/罐/瓶時，均在化學品柜中進行，管路連接完成后方能開啟桶/槽/罐/瓶。藥品配送站設計位于密閉的潔凈廠房內(nèi)，設置一般排氣（2#廠房：風量18000m³/h；4#廠房：風量40000m³/h），廢氣將通過廠房屋頂排氣筒排放�；瘜W品在輸送至生產(chǎn)工序時管道采用雙層套管，避免了物料的跑冒滴漏。

二、防噪、減振設施設計

（1）在符合工藝要求的條件下，選用低噪聲的設備。

（2）高噪聲設備集中布置與辦公室隔開，并設置消音器（風機等），作業(yè)場所采用墻體隔聲，減少噪聲傳播，降低噪聲對非生產(chǎn)區(qū)的影響。

（3）生產(chǎn)設備設置減振墊，減少振動造成的噪聲。

（4）辦公室、控制室與作業(yè)場所位于不同樓層，正常作業(yè)時，門窗均為關閉狀態(tài)。

①消音器外觀應整潔、無破損；

②消音器銘牌、合格證及氣流方向標志應牢固，標識內(nèi)容應清晰；

③消音器采用鉚接工藝時，鉚點應均勻牢固且應選用實心鉚釘，穿孔板咬口方式應采用內(nèi)平咬口工藝以減小風阻；采用焊接工藝時，焊接區(qū)域應牢固、均勻、光滑，不應有裂紋、虛焊、氣孔、夾渣等缺陷；

④消音器安裝采用過渡管連接時，過渡管單邊當量擴張角應不大于15°，并應保證氣流均勻通過消聲器截面；

⑤在保證使用性能的條件下，消音器可承受的最高壓力不應超過額定壓力的120%，可通過氣流的最高流量不得超過額定流量的110%，可通過介質(zhì)的最高溫度不應高于額定溫度50℃。

三、防暑、降溫設施設計

（1）高溫季節(jié)為勞動者發(fā)放清涼飲品和藥品。

（2）合理安排作業(yè)時間，制定合理的勞動休息制度，減少高溫接觸時間。

（3）作業(yè)場所采用送風系統(tǒng)，空調(diào)作業(yè)場所，加強內(nèi)空氣流通。

（4）建設單位隧道烘箱等設置隔熱材料，防止作業(yè)人員燙傷。

（5）除上述防暑降溫設施、措施，建設單位還應按照《關于印發(fā)防暑降溫措施管理辦法的通知》（安監(jiān)總安健〔2012〕89號）的要求，根據(jù)地市級以上氣象主管部門所屬氣象臺當日發(fā)布的預報氣溫，調(diào)整作業(yè)時間：

①日最高氣溫達到40℃以上，應當停止當日室外露天作業(yè)；

②日最高氣溫達到37℃以上、40℃以下時，建設單位全天安排勞動者室外露天作業(yè)時間累計不得超過6小時，連續(xù)作業(yè)時間不得超過國家規(guī)定，且在氣溫最高時段3小時內(nèi)不得安排室外露天作業(yè)；

③日最高氣溫達到35℃以上、37℃以下時，建設單位應當采取換班輪休等方式，縮短勞動者連續(xù)作業(yè)時間，并且不得安排室外露天作業(yè)勞動者加班。

四、防電離輻射設施設計

（1）設備自帶屏蔽措施（屏蔽體與X射線裝置主體結構一體設計和制造）。機房四周和頂部的墻體均采用鋼-鉛-鋼夾層結構（鉛層厚度：14mm）。

（2）設置單獨的控制臺，控制臺的液晶顯示屏可清晰地顯示工作時的管電壓、管電流、高壓接通或斷開狀態(tài)以及照射時間設定值等工作參數(shù)，并設有高壓接通時的外部報警、指示裝置，控制臺與X射線機系統(tǒng)分開并避開有用線束的照射方向。

（3）設置門-機聯(lián)鎖裝置，并保證在門（包括人員門和貨物門）關閉后X射線裝置才能進行作業(yè)，門打開時應立即停止X射線照射，關上門不能自動開始X射線照射。

（4）作業(yè)場所門口和內(nèi)部同時設有顯示“預備”和“照射”狀態(tài)的指示燈和聲音提示裝置。“預備”信號持續(xù)足夠長的時間，以確保探傷室內(nèi)人員安全離開。“預備”信號和“照射”信號與該工作場所內(nèi)使用的其他報警信號有明顯區(qū)別。照射狀態(tài)指示裝置與X射線探傷裝置聯(lián)鎖。

（5）作業(yè)場所防護門上有電離輻射警告標識和中文警示說明。

（6）分別設置鑰匙開關，并由專人管理，只有在打開控制臺鑰匙開關后，X射線管才能出束；只有在停機或待機狀態(tài)時才能拔出鑰匙。

（7）設置攝像頭，對測厚、在線 X-ray 檢查、鉆靶作業(yè)進行監(jiān)控，避免不規(guī)范作業(yè)。

（8）設置獨立的安全開關，防止門在檢測過程中打開或在門打開時關閉高壓，鉛門同時設置與X射線源的連鎖保護，鉛門打開時不能開啟高壓，開高壓過程中如鉛門意外打開，高壓自動關閉，控制臺配置應急開關與X射線源連鎖。

（9）每天對各操作按鈕開關是否完好無損，對急停開關、聯(lián)動門關閉、警示燈、水冷系統(tǒng)運行、監(jiān)控系統(tǒng)、輻射個人劑量報警儀、個人劑量片胸卡等是否正常工作或運行進行檢查，確認無誤后方可進行作業(yè)。

（10）設置電源總開關，當緊急停機按鈕無法使用，可以切斷電源總開關使系統(tǒng)停止運行。

（11）定期用檢測儀對系統(tǒng)輻射值進行檢測，檢測射線是否有泄漏。放射工作人員開機操作前先使用X射線泄漏檢測儀對系統(tǒng)進行放射泄漏安全檢測，檢測合格后方可按照安全操作規(guī)程進行操作，定期對接地和電纜絕緣進行檢查。

（12）制定X射線實時成像檢測系統(tǒng)的安全操作規(guī)程，并對放射工作人員進行培訓，嚴格按照操作規(guī)程進行操作。

（13）X射線裝置墻壁圍成的內(nèi)部區(qū)域劃為控制區(qū),與墻壁外部相鄰區(qū)域劃為監(jiān)督區(qū)。

（14）控制區(qū)邊界懸掛清晰可見的“禁止進入X 射線區(qū)”警告牌,探傷作業(yè)人員在控制區(qū)邊界外操作,否則應采取專門的防護措施。

（15）現(xiàn)場探傷作業(yè)工作過程中,控制區(qū)內(nèi)不應同時進行其他工作。

五、防非電離輻射設施設計

（1）建設單位激光打標、激光鉆孔、UV 固化、阻焊DI曝光采用自動化、密閉化設備，并設置聯(lián)鎖的防護罩，光束的通道防護圍封。

（2）在防護裝置被打開或被移動，或聯(lián)鎖裝置失效時，設備不能自動運行工作。

（3）機床的激光成形加工裝置安全、可靠，確保其不致脫落或在運動時不被甩出。

（4）設備的往復運動部件采取可靠的限位措施。各運動軸設置可靠的電氣、機械雙重限位裝置，防止造成滑落的危險。

（5）在預定工作條件下，設備及其部件不出現(xiàn)意外傾覆。激光系統(tǒng)、光束傳輸部件應有防護措施并牢固定位,防止造成沖擊和振動。

（6）設備工作時有明顯的信號指示，警示標志貼在設備的醒目位置。

（7）每個“起動”控制元器件附近均應設置一個“停止”控制元器件。設備的每個操作位置均應設置急停器件。設備的急停能實現(xiàn)：

①使激光光束不再產(chǎn)生并自動把激光光閘放到關斷位置；

②使設備停機；

③切斷激光電源并釋放儲存的所有能量。

預期效果

建設單位的職業(yè)病防護設施設計全面貫徹執(zhí)行國家職業(yè)衛(wèi)生法律、法規(guī)、規(guī)范和標準的相關要求，采取的防毒、防塵、防暑降溫、防噪、防電離輻射、防非電離輻射等職業(yè)病防護設施設計具有可行性、有效性、實用性，在今后的施工設計中，建設單位若能充分落實本專篇設計的內(nèi)容，預計建成投產(chǎn)后，在職業(yè)病防護設施正常穩(wěn)定運行以及個人防護用品正確佩戴和使用的情況下，勞動者在工作場所中接觸的職業(yè)病危害因素的濃/強度將符合國家職業(yè)接觸限值，滿足相關法律、法規(guī)、規(guī)章和標準的要求。

技術審查專家組評審意見

專家組對《專篇報告》的審查建議：

1、完善辦公室、控制室、倉庫、過道等照明設計要求；

2、完善液氮儲罐圍堰的設計，建議設置防凍傷的內(nèi)容。